Pumpa za mikro dijafragma je minijaturna vakuumska pumpa opremljena ulaznom i izlaznom mlaznicom, a svaka je smještena u ispušnu mlaznicu. Mehanički mehanizam unutar crpke uzvrati dijafragmu, stvarajući kontinuirani vakuum ili negativni tlak na ulazu i lagani pozitivni tlak na ispušnoj mlaznici. Radni medij je prvenstveno plin, a pumpa kompaktni uređaj. Mikro dijafragmske pumpe djeluju u dva načina. Sljedeće detaljno objašnjava njihove principe rada.
1. mikro električna dijafragma pumpa koristi minijaturni istosmjerni motor (obično radi na 5V, 12V ili 24V) kao izvor napajanja. Ovaj motor pokreće unutarnji mehanički ekscentrični mehanizam, koji zauzvrat uzvraća dijafragmu. Ovo komprimira zrak unutar fiksne komore za pumpe za volumenu ({6}} (kada se komprimira, usisni priključak je zatvoren, a ispušni otvor je otvoren, stvarajući lagani pozitivni tlak) i proteže ga (kada se komprimira, ispušni otvor je zatvoren, a usisni priključak je otvoren, stvarajući negativni tlak). To stvara razliku tlaka između usisnog luka vakuumske pumpe i atmosferskog tlaka u okolini. Ova diferencijalna tlaka (sisa) zrak u komoru za crpku, a zatim izlazi iz ispušnih luka.
2. Mikrodiafragm crpke koriste rotaciju vijka za usisavanje i ispuštanje tekućine. Središnji vijak u mikrodiafragmskoj pumpi je aktivni vijak, vođen glavnim pokretačem. Vijci s obje strane pokretani su vijci koji se okreću u suprotnom smjeru od aktivnog vijka. Niti i aktivnih i pogonih vijaka su dvostruko - start. Zbog intermeziranja vijaka i čvrstog stajanja između vijaka i unutarnjeg zida obloge, stvara se jedan ili više zapečaćenih prostora između usisnih i pražnih urtova mikrodiafragmske pumpe. Kako se vijak okreće i mreža, ti se zapečaćeni prostori kontinuirano formiraju na usisnom kraju vakuumske pumpe, brtveći tekućinu u usisnoj komori. Tekućina se zatim kontinuirano gura iz usisne komore duž aksijalnog smjera vijaka do kraja pražnjenja, a tekućina zatvorena u svakom prostoru kontinuirano se ispušta, baš kao što se matica kontinuirano gura prema naprijed kad se navoj rotira. Ovo je osnovni princip rada mikro dijafragme.