Vakuumska pumpa je stroj za tekućinu koji izvlači plin iz vakuumske komore kako bi stvorio vakuum. To je temeljno za različite procesne operacije. Evo nekoliko uobičajenih aplikacija:
1. Znanstvena istraživanja i laboratoriji: Vakuumske pumpe široko se koriste u opremi kao što su kemijski taloženje pare (CVD), mikroskopi atomske sile (AFM) i skeniranje elektronskih mikroskopa (SEM) kako bi se osiguralo potrebno vakuumsko okruženje.
2. Medicinski: Neki medicinski uređaji, poput strojeva za hemodijalizu i ventilatora, zahtijevaju vakuumske pumpe kako bi pomogli u liječenju pacijenata.
3. Poluvodička industrija: Tijekom izrade poluvodiča potrebna je velika količina vakuumske opreme za obradu silicijskih vafla i drugih materijala. Na primjer, tijekom procesa toplinske oksidacije silikonskih vafla, potrebne su vakuumske pumpe za kontrolu atmosfere i tlaka.
4. Svakodnevni život: Neki kućanski uređaji također koriste vakuum tehnologiju za poboljšanje performansi i kvalitete proizvoda. Na primjer, motor u usisavaču djeluje na temelju principa vakuumskog tlaka.